東莞市高能工業(yè)氣體有限公司
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六氟乙烷C2F6
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六氟乙烷
電子工業(yè):六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發(fā)展微電子工業(yè)方面起著重要作用,是加工超大規(guī)模集成塊工藝中所必需的介質(zhì); 制冷空調(diào)業(yè):六氟乙烷右用做制冷和空調(diào)的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級壓縮循環(huán)中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物; 化學(xué)工業(yè):六氟乙烷可用做化學(xué)反應(yīng)中的添氟劑; 電力工業(yè):六氟乙烷可用做電氣設(shè)備的絕緣劑和高介電強(qiáng)度冷卻劑; 其它:六氟乙烷可用于器件表面清洗,還可用于光纖生產(chǎn)。 |
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